国产离子注入设备实现28纳米工艺全覆盖 天天时快讯 2023-06-30 07:11:42 来源：科技日报
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证券时报e公司讯，记者29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
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